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光栅的基本测量原理 [数控机床维修] 来源:数控车床数控机床网 时间:2022-07-16 00:22 点击:
本文摘要:...
两个光栅尺沿线方向保持一个小夹角θ,划线面平行且有一个小间隙(一般为0.05mm,0.1mm)。在光源照射下,在垂直于两个光栅的线角θ平分线的方向上,形成一条明暗条纹(横向莫尔条纹),两条明暗条纹之间的距离称为莫尔条纹宽度w。 莫尔条纹特征:1)光放大的放大率k是w=1mm,k=100如果d=0.01mm,θ = 0.01rad。 2)均衡误差引起的莫尔条纹→形成大量光栅线→误差平均效应→克服个别/局部误差→提高精度。 3)莫尔条纹移动与间距移动成比例(同步)。光栅移动一个间距d→莫尔条纹移动一个间距w,光栅反方向移动,莫尔条纹反方向移动。 在间距d内,由光电元件检测的光强变化是正弦(或余弦)变化。




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